连通式双反应室高温MOCVD系统

摘要：

本文研究连通式双反应室高温金属有机化学气相淀积(MOCVD)系统克服半导体薄膜材料在异质外延中的晶格失配和热失配等问题.有利于制备新型结构材料.

关键词： 半导体薄膜材料 高温MOCVD系统 连通式双反应室 异质外延

作者: 傅竹西 朱俊杰 林碧霞

作者单位: 中国科学院中科大结构分析开放实验室;中国科学技术大学物理系(合肥)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国有色金属学会第八届全国MOCVD学术会议

会议地点: 牡丹江

会议语种:中文

页码: 31-32

在线出版日期: 2003-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）