高纯氨和高纯三甲基镓规模化生产技术

摘要：

高纯氨和高纯三甲基镓是金属有机化学气相淀积的关键支撑材料.本文研究高纯氨和高纯三甲基镓的纯化工艺,净化技术以及金属杂质的检测.

关键词： 高纯氨 高纯三甲基镓 纯化 金属有机化学气相淀积 金属杂质检测

作者: 赵毅 王同文 郭云龙

作者单位: 大连保税区科利德化工科技开发有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国有色金属学会第八届全国MOCVD学术会议

会议地点: 牡丹江

会议语种:中文

页码: 29-30

在线出版日期: 2003-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）