6N高纯氨中杂质分析方法研究

摘要：

作者对高纯氨的定量分析方法开展了深入研究.通过查阅国内外文献资料,并根据以往的经验,对多种色谱条件进行了比较分析,从而筛选出最佳的色谱分离柱,载气流速,检测温度等分析条件.

关键词： 6N高纯氨 金属有机化学气相沉积 杂质分析 色谱定量分析

作者: 张琳 郭云龙

作者单位: 大连保税区科利德化工科技开发有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国有色金属学会第八届全国MOCVD学术会议

会议地点: 牡丹江

会议语种:中文

页码: 26-26

在线出版日期: 2003-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）