掺杂用DMZn和DEZn的混合气配制方法研究

摘要：

Zn源是用于化合物半导体材料的掺杂剂中的一种,本文研究掺杂用DMZn和DEZn的混合气配制方法.为防止液化必须限定混合气的总压.

关键词： 化合物半导体 外延生长 掺杂剂 混合气配制方法 Zn源

作者: 张琳 计燕秋 安华

作者单位: 大连保税区科利德化工科技开发有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国有色金属学会第八届全国MOCVD学术会议

会议地点: 牡丹江

会议语种:中文

页码: 25-25

在线出版日期: 2003-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）