溶液二甲基二茂镁源的研制
我们选用有机化合物作为液化试剂,通过配制成溶液,使二甲基二茂镁发生液化或部分液化,从而使镁源在使用过程中实现最大程度的与载气流的接触,形成稳定的蒸汽压.研究表明,有机叔胺类化合物对二甲基二茂镁具有比较好的溶解液化能力,将等量的二甲基二茂镁与N,N-二甲基十二烷基胺混合得到的混合物在室温为液体,其熔点在O℃以下.对液化后的二甲基二茂镁,我们参照MOCVD实际使用条件测定了二甲基二茂镁的输出情况.
二甲基二茂镁源 金属有机化学气相淀积 化合物半导体
李翔 陈化冰 虞磊 潘毅
南京大学化学化工学院国家863计划新材料MO源研究开发中心(南京)
国内会议
牡丹江
中文
23-24
2003-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）