纳米金感光性自组装膜及图像化研究

摘要：

含有纳米或微米级的金属图像特别是纳米金粒的微图像在微电子微机械制造方面有着重要的应用前景,通常有两种方案来制备金属微图像,一是对含金属的薄膜进行微图像化,二是定向吸附或沉积金属纳米粒子到微图像化的前驱表面上.本文中我们通过组装法来获得感光性的含有纳米金粒的静电自组装薄膜,然后选择性曝光并显影得到含金的膜微图像,烧结除去有机组分得到纳米金粒的微图像.

关键词： 金属微图像 组装法 自组装薄膜 图像化

作者: 曹维孝 鲁从华

作者单位: 北京大学化学与分子工程学院(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国感光学会辐射固化分会2003年年会

会议地点: 珠海

会议语种:中文

页码: 168-169

在线出版日期: 2003-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）