酸增殖剂研究进展

摘要：

本文综述了能有效提高化学增幅抗蚀体系感度的各种类型酸增殖剂及其酸增殖机理.对某些常用于光致抗蚀剂中的酸增殖剂的特性作了介绍.并对它们的应用前景、现存问题和改进方向进行了简单讨论和介绍.

关键词： 化学增幅抗蚀剂 酸增殖剂 光致抗蚀剂

作者: 王文君 张改莲 王力元 余尚先

作者单位: 北京师范大学化学系

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国感光学会第六届青年学术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 17-20

在线出版日期: 2002-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）