ICP-MS在超净高纯试剂分析中的应用

摘要：

电子微细加工技术用超净高纯试剂的品种现已超过30种.本文仅以酸类(盐酸、硫酸、硝酸、氢氟酸)为例,来介绍了ICP-MS在超净高纯试剂分析中的应用.

关键词： 高纯试剂 化学分析 测试方法 电感耦合等离子体—质谱法

作者: 孟蓉 郑春丽

作者单位: 北京化学试剂研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国感光学会第六届青年学术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 104-108

在线出版日期: 2002-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）