MOCVD法生长氧化锌薄膜的特性研究

摘要：

根据GaN材料及蓝光发光管研制和生产的经验,MOCVD法可能更适合工业化生产和制作光电器件,因此,我们选取MOCVD方法进行ZnO薄膜的制备研究.

关键词： MOCVD法 外延生长 氧化锌薄膜 XRD图谱

作者: 杜国同

作者单位: 吉林大学电子科学与工程学院,集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区(长春)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国有色金属学会第八届全国MOCVD学术会议

会议地点: 牡丹江

会议语种:中文

页码: 11-11

在线出版日期: 2003-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）