行星式多层流CVD反应器输运过程的计算机模拟
本文报告了利用大型计算软件FLUENT对中科院半导体所新近设计的行星式多层流反应器的输运过程进行的二维数值模拟的初步结果.根据模拟结果,对不同的载气分子和流量、不同的反应器圆盘直径、流道高度和进口锥角、不同的衬底温度和气体压强等参数,如何引起CVD反应器中输运过程的变化,进行了较系统的总结,对于行星式CVD反应器中输运过程与外部物理、几何参数的定性、定量关系,进行了分析和讨论.
化学气相淀积 行星式多层流反应器 输运过程 计算机模拟
左然 刘祥林
江苏大学(江苏镇江) 中科院半导体所(北京)
国内会议
牡丹江
中文
39-40
2003-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）