10<”-10>Pa溅射离子泵的研制

摘要：

该文主要 介绍10<”-10>Pa溅射离子泵的研制，论述提高极限真空和抽气速率的方法。

关键词： 溅射离子泵 极限真空 抽气速度 真空获得设备 正页离子对撞机 电子储存环

作者: 仇华兴 唐景远 王金锁

作者单位: 上海真空泵厂 上海市计量测试技术研究院

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会真空获得与测量学术交流会

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 35-39

在线出版日期: 2001-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）