金属氧化物气敏薄膜的厚度效应

摘要：

通过对扩散反应方程的求解和无量钢分析指出了响应时间和恢复时间随膜厚、气体浓度变化的关系式。由于气敏晶体尺寸r<,0>→0时不能满足热力学极限，于是对Fermi统计公式提出了修正，并由此推出了最佳晶粒尺寸r<,0>的计算公式，推导出了电导激活能随膜厚变化的曲线。

关键词： 扩散反应方程 晶体 晶粒尺寸 金属氧化物 介观效应

作者: 刘文利 李宇兵 李蕾 高建华 裘南畹

作者单位: 山东大学数理系(山东济南)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国气湿敏传感器技术学术交流会及第八届全国湿度与水分检测学术交流会

会议地点: 郑州

会议语种:中文

页码: 43～45

在线出版日期: 2000-07-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）