非硅衬底上转换效率10﹪的硅薄膜太阳电池

摘要：

在SiO<,2>衬底上,利用快速热化学汽相沉积(RTCVD)及区熔再结晶(ZMR)方法,制备了多晶硅薄膜太阳电池,转换效率达到10.2﹪.

关键词： 薄膜太阳电池 区熔再结晶 快速热化学汽相沉积 多晶硅薄膜 薄膜沉积

作者: 许颖 励旭东 罗欣莲 王文静 于民 李仲明

作者单位: 北京市太阳能研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国第六届光伏会议

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 141-142

在线出版日期: 2000-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）