关键词： 氮化铝 薄膜 结构 靶功率 靶-基距
作者: 武海顺 许小红 张聪杰 许小红 金志浩
作者单位: 师范大学化学系 交通大学材料与工程学院
会议类型: 国内会议
会议名称: 全国薄膜学术讨论会
会议地点: 上海
会议语种:中文
页码: 242～243
在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）