对高Al组分AlGaAs表面GaAs薄膜的选择性腐蚀
由GaAs和高Al组分Al、Ga1-xAS（x=0.8~0.9）构成的异质薄膜体系是许多光电器件中的常规结构。对该异质结构的GaAs和AlGaAs的选择性腐蚀工艺是器件制备过程中的一道关键工序。该文针对传统腐蚀工艺中出现的腐蚀后裸露的AlGaAs表面彩色化的问题，进行了深入系统的研究，得到了较为满意的氨水-双氧水-磷酸（NH、OH-H2O2-H3PO4）新配方属蚀液体系。这种腐蚀液体系不仅可在较宽的溶液浓度范围内实现对高Al组分GaAs/alGaAS异质结构的选择性腐蚀，而且也不会对裸露的AiGaAs外观产生明显影响。最后，该文还对腐蚀机理作了初步探索。
高Al组分 选择性腐蚀
公延宁 汪乐
科学院上海冶金研究所半导体材料与器件研究室(上海)
国内会议
宜昌
中文
93～94
1998-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）