氮氧化硅薄膜的光学特性及光波导中的应用

摘要：

氮氧化硅(SiO<,X>N<y>)有许多优良的特性，特别是其折射率可调、击穿电场高，因而在光学器件和深亚微米MOS技术方面有广阔的应用前景。该文重点介了SiON的光学特性及其在光波导中的应用。

关键词： 氮氧化硅 折射率可调 光波导

作者: 但亚平 岳瑞峰 王燕 刘理天

作者单位: 清华大学微电子研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第一届全国纳米技术与应用学术会议

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 98～101

在线出版日期: 2000-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）