关键词： 氮气氛退火 纳米硅--氧化硅薄膜
作者: 樊瑞新
作者单位: 浙江大学硅材料渐家重点实验室(杭州)
会议类型: 国内会议
会议名称: 第十二届全国半导体物理学术会议
会议地点: 上海
会议语种:中文
页码: 60-60
在线出版日期: 1999-10-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）