利用背面氩离子轰击提高SiO 2-Si界面硬度

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国固体薄膜学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）