ECR微波等离子体氮化铁基材料的参数研究

摘要：

该文以纯铁和38CrMoA1为例给出了用电子回旋共振微波等离了体氮化的实验结果，结果指出即使在10<”-1>Pa的工作气压下，采用N<,2>-H<,2>混合气体，仍然可在样品表面形成氮化层，使样品表面硬度显著提高，而且氮化速率要比以往报道的好的多。同时还给出改变N<,2>和H<,2>比例时对样品表层氮化铁相形成的影响。

关键词： 氮化铁基材料 电子回旋共振微波 等离子体氮化

作者: 王存勇 詹如娟

作者单位: 科学技术大学近代物理系(合肥)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国核学会核聚变与等离子体应用学术讨论会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 308～312

在线出版日期: 1998-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）