超硬氮化碳薄膜的制备与性能研究

摘要：

采用dc反应磁控溅射和多弧离子镀相结合的方法，在高速工具钢基体上沉积C<,3>N<,4>/TiN复合超硬薄膜，用X光电子能能谱分析了氮化碳的元素组成。X射线衍射和透射电子衍射分析证明，氮化碳以硬质结晶相存在。复合膜的显微硬度Hv=35.1-46.7GPa，经划痕试验表明，薄膜在高速钢上的附着力达到JB/T8365-96标准。

关键词： 氮化碳 超硬材料 刀具 涂层技术

作者: 吴大维 付德君 刘传胜 高鹏 叶明生 彭友贵 范湘军

作者单位: 武汉大学物理与电子信息技术学院

会议类型: 国内会议

会议名称: 1999年第二届表面工程国际会议

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 192-193

在线出版日期: 1999-10-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）