关键词： 氮化碳 复合膜 表面处理 薄膜
作者: 吴大维 傅德君 刘传胜 高鹏 叶明生
作者单位: 大学物理与电子信息学院
会议类型: 国内会议
会议名称: 全国薄膜学术讨论会
会议地点: 上海
会议语种:中文
页码: 196～199
在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）