氮化碳超硬复合膜的结构分析

摘要：

用直流反应磁控溅射－多弧离子镀技术，在高速工具钢基体上沉积C<,3>N<,4>/TiN复合超硬薄膜。薄膜中存在β-C<,3>N<,4>和α-C<,3>N<,4>六角晶系硬质相氮化碳，用XRO和TED两种方法同时观测到薄膜中还存在立方晶系c-C<,3>N<,4>和p-C<,3>N<,4>，复合膜的显微硬度46.7GPa，用原子力显微镜观察了薄膜的表面微结构。

关键词： 氮化碳 超硬薄膜 刀具涂层技术

作者: 彭友贵 傅德君 刘传胜 高鹏 叶明生

作者单位: 武汉大学物理与电子信息学院

会议类型: 国内会议

会议名称: ”99全国荷电粒子源粒子束学术会议

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 234～238

在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）