关键词： 氮化硼薄膜 汽相沉积
作者: 陈光华 严辉 王波
作者单位: 北京工业大学材料科学与工程学院
会议类型: 国内会议
会议名称: 第十二届全国半导体物理学术会议
会议地点: 上海
会议语种:中文
页码: 73-73
在线出版日期: 1999-10-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）