立方氮化硼薄膜的光学带隙

摘要：

测量了用射频溅射法制备的立方氮化硼薄膜的紫外－可见光透射和反射谱，计算了氮化硼薄膜的光吸收系数和折射率，进而利用Ｔａｕｃ公式及Ｓｔｅｒｎ公式得到了薄膜的光学带隙。结果表明随氮化硼薄膜中立方相含量的增大，其光学带隙从４．０ｅＶ增大到时６．０ｅＶ以上。

关键词： 氮化硼 立方氮化硼薄膜 光学薄膜 光学带隙 射频溅射

作者: 张兴旺 王波 宋雪梅 崔贲涛

作者单位: 工业大学应用物理系

会议类型: 国内会议

会议名称: 1998年中国材料研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 656～658

在线出版日期: 1999-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）