六方相氮化镓薄膜中黑色夹层的探讨

摘要：

运用金属有机气相处延设备、国产三甲基镓和进口氮气，在蓝宝石衬底两相相反取向的C面上同时生长六方相氮化镓薄膜，当衬底表面是向籽晶面时，生长的六方相氮化镓薄膜有黑色夹层，而当衬底表面是背籽晶面时，生长的氮化镓则无黑色夹层。

关键词： 氮化镓薄膜 黑色夹层

作者: 韩培德 段晓峰 段俐宏

作者单位: 中国科学院半导体研究所、半导体材料科学实验室 中国科学院凝聚态物理中心、北京电子显微镜实验室 中国科学院半导体研究所、国家光电子工艺中心

会议类型: 国内会议

会议名称: 第七届全国固体薄膜学术会议

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 12～14

在线出版日期: 2000-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）