关键词： 氮化镓 等离子体 发射光谱
作者: 顾彪 徐茵 肇莹 秦福文
作者单位: 大连理工大学电磁工程系
会议类型: 国内会议
会议名称: 第九届全国等离子体科学技术会议
会议地点: 大连
会议语种:中文
页码: 124-127
在线出版日期: 1999-08-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）