关键词： 氮化硅 纳米粉末 激光制备 生产过程 控制系统
作者: 陈荣保 张崇巍 张晓江 董学平
作者单位: 合肥工业大学工业自动化研究所
会议类型: 国内会议
会议名称: 中国控制会议
会议地点: 宁波
会议语种:中文
页码: 917～920
在线出版日期: 1998-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）