氮化硅薄膜的性能及应用

摘要：

氮化硅薄膜作为一种重要的薄膜材料，具有优秀的光电性能、钝化性能和机械性能，在微电子、光电和材料表面改性领域都有广泛的应用前景。该文着重评述了氮化硅薄膜的主要性能和应用。

关键词： 氮化硅 薄膜

作者: 孟祥森 杨辉

作者单位: 大学无机非金属材料研究所(杭州) 大学硅材料科学国家重点实验室

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国高技术陶瓷学术年会

会议地点: 青岛

会议语种:中文

页码: 727～731

在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）