关键词： IC工艺硅片缺陷IC性能
作者: 张家坚 邹子英 闵靖 张克明
作者单位: 上海市计量测试技术研究院
会议类型: 国内会议
会议名称: 全国计量测试学术大会
会议地点: 北京
会议语种:中文
在线出版日期: 1998-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）