Hg Cd Te光导探测器的失效分析

摘要：

利用剥层分析技术对已知失效的ＨｇＣｄＴｅ光导探测器进行逆向分析，研究了器件制造过程中主要工艺引入的相关缺陷以及形貌，寻找器件失效原因，并分析了工艺损伤与器件电性能的关系。

关键词： 失效分析HgCdTe光导探测器缺陷工艺损伤

作者: 胡晓宁 张家坚 闵靖 邹子英

作者单位: 中科院上海技术物理研究所 上海市计量测试技术研究院

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国计量测试学术大会

会议地点: 北京

会议语种:中文

在线出版日期: 1998-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）