MCT液相外延薄膜的低温热处理研究

摘要：

该文主要介绍对用LPE法生长的MCT薄膜的低温热处理方法，并对LPE生长的MCT原生片和低温热处理后的外延片电参数、组份和形貌进行了对比分析。

关键词： LPE生长 电参数 低温热处理 薄膜

作者: 雷春红 陈建才

作者单位: 昆明物理研究所(昆明)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国红外科学技术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

在线出版日期: 2000-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）