MOVPE有CdTe衬底的损伤层研究

摘要：

对用于有机金属汽相外延(MOVPE)生长的<211>方向的碲化镉(CdTe)衬底进行多次抛光、腐蚀，在相同的测量条件下，测其X射线双晶衍射回摆曲线的全半高宽度(FWHM)，研究CdTe衬底的表面损伤。

关键词： 回摆曲线 损伤层 CdTe

作者: 宋炳文 杨玉林 刘朝旺 王静宇

作者单位: 昆明物理研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国红外科学技术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

在线出版日期: 2000-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）