外延HgCdTe薄膜用CdZnTe衬底表面的X射线双晶衍射分析
该文用测量材料双晶回摆曲线的方法详细研究了外延HgCdTe（简称MCT）薄膜所用CdZnTe（简称CZT）衬底的表面结构情况。指出对CZT的切割、粗研所引起的表面损伤在用精研及化学腐蚀的方法去除之前，对表面结构完整性的主要影响来自损伤层未完全去除；当损伤层之后，对表面结构完整性的主要影响来自化学腐蚀对衬底的不均匀取向腐蚀。所以衬底的化学腐蚀时间的正确使用一达到恰好去除损伤层，而又不再进行之后的不均匀取向腐蚀一是制备出最有利于外延生长用CZT衬底表面结构的重要的因素。
X射线双晶回摆曲线 CdZnTe衬底 HgCdTe薄膜 晶衍射分析
刘朝旺 雷春红 莫玉东 何永成 吴刚 黄晖
昆明物理研究所(昆明)
国内会议
北京
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2000-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）