64×64 InSb凝视焦平面探测器技术研究

摘要：

该文根据近两年来在64×64 InSb凝视焦平面探测器研究工作中的一些问题及进展对InSb凝视焦平面探测器技术所涉及的几项关键工艺进行了一些分析，并对如何解决这些问题提出了一些认识。最后介绍了目前64×64 InSb凝视焦平面探测器的研究进展。

关键词： CMOS读出电路 FPA InSb 探测器

作者: 赵建中

作者单位: 华北光电技术研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国红外科学技术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

在线出版日期: 2000-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）