64×64元InSb光伏红外探测器列阵性能表征

摘要：

用改进的恒压微探针方法设备64×64元InSb凝视红外焦平面器件用光伏探测器列阵芯片的性能进行了统计抽样检测和均匀性评价，统计检测项目有像元零偏压电阻及其分布，像元黑体响应率及其分布，动态电阻偏压依赖关系，以及像元电学串音。结果表明冷探针统计抽样检测可作为评价二维InSb探测器列阵芯片性能的有效手段，其检测结果可作为挑选焦平面器件互连用芯片的重要依据。

关键词： 列阵性能表征 红外红探测器

作者: 汪辉 杨华 王正官 陆蔚 陈伯良

作者单位: 上海大学 上海技术物理研究所(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国红外科学技术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

在线出版日期: 2000-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）