混成红外焦平面铟柱制备及应用

摘要：

该文报导一种制备In柱的新方法及初步的实验结果，并就其制备原理、设计原则、工艺难度进行了分析讨论。认为用该技术制备的In柱可满足混成红外焦平面倒装互连的要求。

关键词： Si-读出电路 倒装互连 In柱 混成红焦平面

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国红外科学技术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

在线出版日期: 2000-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）