混合式红外焦平面阵列互连铟凸点技术

摘要：

该文讨论了金属铟柱高度的计算方法，认为矩形截面的铟柱抗弯曲的能力比圆形截面的铟柱更强，指出器件制造工艺误差的影响，严格控制健合的压力和键合后的铟柱高度是获得100％互连成品率的关键。并给出一种利用表面能原理得到较高金属的方法。

关键词： 倒装对焊 铟柱热设计 红外焦平面阵列

作者: 李建林

作者单位: 昆明物理研究所(昆明)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国红外科学技术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

在线出版日期: 2000-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）