高Tc超导4×4元面阵研制

摘要：

选用高Tc超导薄膜YBa<,3>Cu<,3>O<,7-8>引用微加工技术，制出了4×4元面阵红外探测器，超导膜用湿法工艺光刻成折线结构，总红长约2000μm，可提高敏感元工作电阻率。对于4×4元列阵。16个敏感元公用电极的安排是小关键。在工作人员的设计中。16个敏感元是同时读取信号，其探测率D<”.>1.2×10<”A>-7.2×10<”3>>cm·Hz<”1/2>·W<”-1>之间，工作温度为88K。

关键词： 焦平面列阵 高Tc超导器件 结外探测器

作者: 诸君浩 陈惠秀 刘兴海 石保安 李标 刘心田

作者单位: 中国科学院上海技术物理所红外物理国家实验室

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国红外科学技术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

在线出版日期: 2000-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）