高灵敏度室温锑化铟红外探测器研制

摘要：

该文通过对室温工作的光导型锑化铟红个探测器的设计与工艺研究，在理论分析和工艺实验的基础上优选制造灵敏元的材料；精心设计探测器的光学系统；改进制造工艺，实现对灵敏元精密腐蚀的有效控制等。研制成功电压响应率达10<”10>.W<”-1>左右，光谱响应范围2～8μm，响应时间≤2×10<”-8>秒的高性能、高稳定性、高可靠器件。

关键词： 探测器 锑化铟 室温

作者: 付安英 陈仁厚 荡国平 薛三旺

作者单位: 陕西华星红个器件厂(陕西)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国红外科学技术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

在线出版日期: 2000-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）