CAD激光制作电路图形研究（一）——设备及软件

摘要：

针对固相激光诱导金属沉积技术制作电路图形的要求，研制开发了微机控制的激光聚焦扫描系统，利用该系统可实现电路图形的输入、输出，并控制激光扫描，在陶瓷基板上制作出电路图形。

关键词： 电路制造 激光扫描器 程序系统 非掩膜工艺 计算机辅助制版 化学沉积 激光诱导 诱导沉积 激光扫描

作者: 陈持平 郁祖湛 叶匀分 王建

作者单位: 上海激光技术研究所 上海复旦大学化学系

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国表面工程协会电镀分会第五届年会

会议地点: 合肥

会议语种:中文

在线出版日期: 1998-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）