基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究

摘要：

结合LIGA技术和微细电火花加工的优点,用LIGA技术制备出具有复杂形状的铜微细工具电极,再用该工具电极进行微细电火花加工,在不锈钢上加工出异形微细孔洞.并通过进一步调整电火花加工工艺参数,优化了加工尺寸精度和表面粗糙度.

关键词： 微细加工 LIGA技术 电火花加工 尺寸精度 表面粗糙度

作者: 邹丽芸 张院春 彭良强 黄军容 伊福廷 张菊芳 韩勇

作者单位: 北京市机电院高技术股份有限公司(北京) 中国科学院高能物理研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2003年全国特种加工学术会议

会议地点: 苏州

会议语种:中文

页码: 31-32

在线出版日期: 2003-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）