半导体(SnO<,2>)薄膜电热元件的研制及电学性能的分析

摘要：

采用化学热喷涂法制作半导体(SnO<,2>)薄膜电热元件,对不同衬底(石英和玻璃)的二元薄膜材料和掺杂的六元薄膜材料测其电阻随温度变化的曲线,证实了以石英为衬底的二元薄膜材料有更稳定的性能,且电阻也低,合理掺杂其稳定性更好;测量了薄膜材料随温度的升高及其变形情况,为以后热应力的量化提供了可能.

关键词： 半导体电热膜 电阻—温度曲线 半导体薄膜技术

作者: 张秀梅 张瑞英 杨殿魁 李志芳 张秀云

作者单位: 内蒙古工业大学材料科学与工程学院金属材料系(内蒙古呼和浩特市)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八次全国热处理大会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 640-642

在线出版日期: 2003-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）