TiO<,2>:MgF<,2>薄膜的湿敏特性

摘要：

采用真空镀膜技术制备了TiO<,2>:MgF<,2>薄膜湿敏元件,仔细研究了薄膜湿敏元件的感湿特性.结果表明:工作频率为100Hz时,该元件在全湿度范围内具有良好的阻抗-湿度特性,感湿特性曲线线性良好;元件具有灵敏度高,滞后小,响应快,长期稳定性好等优点.

关键词： 湿敏薄膜 TiO<,2>:MgF<,2>薄膜 湿敏特性 真空镀膜

作者: 林永钟 李旦振

作者单位: 福建师范大学物理与光电信息科技学院(福州) 福州大学光催化研究所(福建福州)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届华东六省一市物理学联合年会

会议地点: 泰安

会议语种:中文

页码: 70-71

在线出版日期: 2003-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）