关键词: 单晶硅太阳电池 氮化硅 减反射层 等离子体化学气相沉积
作者: 衡阳 许颖 莫春东 于金珍 桑识宇 李仲明
作者单位: 北京市太阳能研究所(北京)
会议类型: 国内会议
会议名称: 中国第六届光伏会议
会议地点: 昆明
会议语种:中文
页码: 139-140
在线出版日期: 2000-10-14(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)