氮化硅在太阳电池上的应用

摘要：

本文介绍了将氮化硅作为减反层对提高单晶硅太阳电池性能的影响.在单晶电池上用等离子化学汽相沉积(PECVD)制备氮化硅作为反层,电池的开路电压和电流密度比用二氧化硅和二氧化钛作为减反层的电池有所提高.

关键词： 单晶硅太阳电池 氮化硅 减反射层 等离子体化学气相沉积

作者: 衡阳 许颖 莫春东 于金珍 桑识宇 李仲明

作者单位: 北京市太阳能研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国第六届光伏会议

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 139-140

在线出版日期: 2000-10-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）