单晶硅炉用碳石墨材料的研制与应用

摘要：

ＣＺ法拉制半导体单晶硅，炉室中使用多种碳石墨材料。该文简要介绍单晶炉炉室结构、工作原理，重点阐述适用碳石墨材料的要求和研制应用情况。

关键词： 单晶硅炉 碳石墨材料 研制与应用

作者: 鄢鹏

作者单位: 电碳股份有限公司(四川自贡)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第17届炭-石墨材料学术会议

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 117～121

在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）