计算机闭环控径制备φ2.0英寸<111>GaP单晶

摘要：

用高压液封直拉法(LEC法)制备单晶,关键问题是解决直径控制,其直径控制的精度,直接影响到单晶的完整性和位错密度.本文阐述了LEC法制备GaP单晶过程中,用计算机来控制单晶直径的原理,及用计算机闭环控径制备GaP单晶的初步结果.同时还介绍了LEC法制备GaP单晶直径控制的另外几种方法.

关键词： 单晶 计算机 发光二极管 直拉法

作者: 尹士平 俞斌才 郑安生

作者单位: 北京有色金属研究总院国瑞电子材料有限责任公司(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届中国功能材料及其应用学术会议

会议地点: 厦门

会议语种:中文

页码: 272-274

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）