离子注入对单晶SiO<,2>表面结构及耐磨性能的影响

关键词： 单晶 离子注入 表面结构 耐磨性能

作者: 徐洮 杨生荣 吕晋军

作者单位: 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室(兰州)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一次全国电子显微学会议

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 597～598

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）