大尺寸平行度垂直度计量测试系统
提出并实现了应用半导体激光器、单模光纤与位相板相结合的准直技术和面阵ＣＣＤ作为接收器的测量大型工件面间平行度、垂直度的测量方案，采用准直光束通过位相板后的衍射图样中心作为测量的基准，经五角棱镜扫描建立相互平行或垂直的测量基准面，通过ＣＣＤ探测系统确定各测点与基准面相应点的偏差，最后由计算机评定出平面度、平行度和垂直度误差值。在１０米的测量范围内，测量系统可实现的测量精度为：±（１．４＋１．３×１０〈’－６〉Ｌ）μｍ。
大型工件 平行度 垂直度 激光准直 CCD探测器
郝群 李达成 曹芒
大学精仪系精密测试技术与仪器国家重点实验室(北京)
国内会议
北京
中文
234～238
1998-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）