扫描电镜低电压条件下的应用

摘要：

本文探讨扫描电镜的低电压操作模式在材料分析中的应用.介绍了用低加速电压观测样品时,信号多来源于材料的表面,电压越低,观测的形貌效果越接近表层.

关键词： 扫描电镜 低电压操作 材料分析

作者: 吴东晓 张大同 郭莉萍

作者单位: 华南理工大学测试中心电镜室(广东广州)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届全国扫描电子显微学会议

会议地点: 珠海

会议语种:中文

页码: 655-656

在线出版日期: 2003-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）