环形固体背散射探测器的最佳检测距离

摘要：

在扫描电子显微镜中背散射电子像是一种很常用的电子图像.要得到一幅清晰、理想的背散射电子像,对于不同型号的探测器其最佳工作距离不同、应根据尺寸和形状计算其最佳工作距离.

关键词： 扫描电镜 背散射探测器 背散射电子像 最佳检测距离

作者: 施明哲 马鑫

作者单位: 信息产业部电子五所(广东广州)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届全国扫描电子显微学会议

会议地点: 珠海

会议语种:中文

页码: 648-649

在线出版日期: 2003-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）